Seminarium Fizyki Ciała Stałego
sala 0.06, ul. Pasteura 5
2019-03-01 (10:15) 
dr Paweł Michałowski (Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych)
Charakteryzacja warstw azotku boru metodą spektrometrii mas jonów wtórnych - podejście iteracyjne
Niskoenergetyczna Spektrometria Mas Jonów Wtórnych (Secondary Ion Mass Spectrometry - SIMS) umożliwia charakteryzację materiałów 2D, jednak wymaga zastosowania dedykowanych procedur pomiarowych – dostosowanych do danego typu materiału. Warstwy azotku boru, z uwagi na własności izolacyjne, należą do najtrudniejszych w pomiarach materiałów, dlatego badania należy przeprowadzać wielokrotnie, nieustannie udoskonalając procedurę pomiarową. Takie podejście stopniowo ujawnia kolejne informacje dotyczące badanego materiału, co prowadzi do powstania spójnego opisu epitaksjalnego wzrostu warstw azotku boru.